隨著工業(yè)的不斷發(fā)展,潔凈室在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。而十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間和30萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間是常見(jiàn)的兩種潔凈室類型。雖然這兩種潔凈室都屬于高潔凈度型潔凈室,但是它們?cè)趽Q氣時(shí)間、凈化的塵粒數(shù)量和允許的微生物數(shù)量等方面存在一定的差異。具體區(qū)別如下:
無(wú)塵車(chē)間可分為以下幾個(gè)級(jí)別:1,100,1000,10000,100000,30000,百萬(wàn)。
每立方米粒徑小于0.5μm的粉塵量應(yīng)控制在3500以下,達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí),目前,芯片級(jí)生產(chǎn)和加工中使用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)標(biāo)準(zhǔn),而A級(jí)標(biāo)準(zhǔn)主要用于某些芯片的生產(chǎn)中?;覊m量嚴(yán)格控制在每立方米1000內(nèi),這在工業(yè)上也稱為1000級(jí)。
無(wú)塵室的等級(jí)要求和分類:
每立方米粒徑小于0.3μm的粉塵量應(yīng)控制在3500以下,達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前,芯片級(jí)生產(chǎn)和加工中使用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)標(biāo)準(zhǔn),而A級(jí)標(biāo)準(zhǔn)主要用于某些芯片的生產(chǎn)中,0.5μm及以下的微塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi),這在業(yè)界通常稱為1K級(jí)。每立方米無(wú)塵室真空吸塵器中包含的灰塵顆粒越少,意味著無(wú)塵室的水平越高
無(wú)塵室可以從高到低分為:100,1000,10000和100000等級(jí)